CHF3Ar介质阻挡放电等离子体中CF2基因数密度的光谱诊断研究的开题报告

CHF3Ar介质阻挡放电等离子体中CF2基因数密度的光谱诊断研究的开题报告题目：CHF3Ar介质阻挡放电等离子体中CF2基因数密度的光谱诊断研究研究背景和意义：等离子体作为一种高温、高能、高离子化程度