用于光气动探测的MEMS热膜式微流量传感器研究的开题报告

用于光气动探测的MEMS热膜式微流量传感器研究的开题报告摘要：本文研究了用于光气动探测的MEMS热膜式微流量传感器。首先介绍了热膜式微流量传感器的基本原理和应用。然后，讨论了光气动探测技术的需要和特点