《真空技术基础》课件

- 第二章 真空技术基础 - 真空与薄膜材料与技术有何关系？􀂨 几乎所有的现代薄膜材料制备都需要在真空或较低的气压条件下进行􀃆都涉及真空下气相的产生、输运和反应过程􀂨 了解