SOI基栅控横向PIN蓝紫光探测器的理论建模与工艺研究

SOI基栅控横向PIN蓝紫光探测器的理论建模与工艺研究SOI基栅控横向PIN蓝紫光探测器的理论建模与工艺研究摘要：本论文研究了SOI基栅控横向PIN蓝紫光探测器的理论建模与工艺。首先，介绍了PIN探测