利用远场散斑测量表面粗糙度的一种新方法

利用远场散斑测量表面粗糙度的一种新方法远场散斑是一种基于光的非接触式检测方法，广泛用于表面形貌和粗糙度的测量。本文将探讨利用远场散斑测量表面粗糙度的一种新方法。 1.简介 表面粗糙度是描述表面平整度的