可调谐栅结构微机械陀螺的研究的中期报告

可调谐栅结构微机械陀螺的研究的中期报告中期报告一、研究背景和意义微机械陀螺是一种利用微米级结构实现旋转运动感知的传感器，具有体积小、能耗低、精度高等特点，被广泛应用于导航、地震预测、飞行器姿态控制等领