硅基微纳二元闪耀光栅垂直耦合器与研究

华 中 科 技 大 学 硕 士 学 位 论 文摘 要近年来，硅基光互连乃至光计算成为世界科技研究热点，尤其是基于绝缘体上硅(SOI)晶片的各种有源、无源光电子器件的研究更是方兴未艾。目前，已有大量无源