Si表面规则纳米结构AFM阳极氧化研究

Si表面规则纳米结构AFM阳极氧化研究摘要：本文使用原子力显微镜（AFM）对Si表面规则纳米结构进行了研究，研究表明阳极氧化能够使Si表面产生规则的纳米结构。在阳极氧化过程中，缓慢增加电压可以有效控制