高温快速热处理对直拉硅单晶中杂质行为的影响

高温快速热处理对直拉硅单晶中杂质行为的影响摘要：直拉硅单晶作为半导体行业的主要原料，其品质对半导体器件的性能和可靠性有着重要的影响。杂质是直拉硅单晶中最主要的缺陷之一，因此研究如何有效地减少直拉硅单晶