亚波长金属光栅结构的制备与矢量衍射理论分析

亚波长金属光栅结构的制备与矢量衍射理论分析亚波长金属光栅结构的制备与矢量衍射理论分析引言：光栅是一种具有周期性结构的光学元件，用于分析和解耦光的波长和方向。亚波长金属光栅是一种具有亚波长特征尺寸的光栅