洁净区环境监测要求

10万级洁净区环境监测要求监测项目技术要求监测方法监测频次温度18～28 OC（十万级、三十万级）JGJ71-901次/班湿度45～65％（十万级、三十万级）JGJ71-901次/班换气次数十万级≥1