新型硅芯晶体炉的开发与设计董淑梅

新型硅芯晶体炉的开发与设计董淑梅1,2，李言 ，王建春 ，郑伟民(1．西安理工大学晶体生长设备研究所，陕西西安，7l0048：2．西安理工大学机仪学院，陕西西安，7l0048)摘 要：从分析硅芯晶体生