等离子-物理气相沉积（PS-PVD）及其射流非接触检测方法

等离子-物理气相沉积（PS-PVD）及其射流非接触检测方法等离子-物理气相沉积（PS-PVD）作为一种射流非接触检测方法，在材料科学领域具有广泛的应用和研究。本文将首先介绍PS-PVD的原理和过程，然