直流磁控溅射技术低温制备高电导和高透明的氢掺杂AZO薄膜

直流磁控溅射技术低温制备高电导和高透明的氢掺杂AZO薄膜摘要：本文使用直流磁控溅射技术在低温条件下制备了氢掺杂Al掺杂ZnO（AZO）薄膜。通过调节施加的氢气流量，优化目标薄膜的电学和光学性能，研究了