平面电极型MEMS电化学振动传感器设计的中期报告

平面电极型MEMS电化学振动传感器设计的中期报告本报告旨在介绍一种基于平面电极型MEMS技术设计的电化学振动传感器，并总结其中期设计进展。一、设计思路电化学振动传感器是一种基于电化学原理实现力、压力、