去PSG工序培训

去PSG（磷硅玻璃）目的：去除硅片表面的P-Si玻璃层（PSG）,为加镀减反射膜做准备在形成PN结的扩散过程中，在硅片表面形成一层一定厚度的磷硅玻璃，磷硅玻璃不导电，为了形成良好的欧姆接触，减少光的反