高精度光学测量微位移重点技术综述

高精度光学测量微位移技术综述***（******大学光电**学院，重庆 400065）摘 要微位移测量技术在科学与工业技术领域应用广泛。光学测量微位移技术与老式测量措施相比，具有敏捷度高、抗电磁干扰能