显微观测技术

摘要随着微细加工技术的不断发展和人们对于微机械、微电路、微光学元件等微结构的不断需求，微结构表面形体测量越来越受到人们的高度关注。自从人们了解到数字全息技术后，其中数字全息显微技术在对测量微结构表面的