智能电容式传感器的国内外现状与发展趋势

智能电容式传感器的国内外现状与发展趋势摘 要 ： 电容式传感器是把被测量转换为电容量变化的一种传感器。它不但广泛应用于位移、振动、角度、加速度等机械量的精密测量，而且还逐步地扩大，应用于压力、液面、料