发射光谱法研究纳秒激光烧蚀硅等离子体特性

发射光谱法研究纳秒激光烧蚀硅等离子体特性发射光谱法研究纳秒激光烧蚀硅等离子体特性摘要:纳秒激光烧蚀硅是一种重要的表面改性技术，被广泛应用于微纳加工、光电子学、光学材料等领域。本文通过发射光谱法研究了纳