薄膜铂电阻制造方法

薄膜铂电阻制造方法薄膜铂电阻制造方法本发明提供一种薄膜铂电阻制造方法，其包括：步骤1：将溅射镀膜得到的铂电阻元件进行高温热处理，同时充入氩气。当温度升高到600℃时，保持温度4个小时，时间到后停止保温