纳米位移台六自由度的激光干涉校准系统的研制

纳米位移台六自由度的激光干涉校准系统的研制摘要本文介绍了一种纳米位移台六自由度的激光干涉校准系统的研制方法，该系统采用光学角度编码器和激光干涉仪对纳米级位移进行校准。该系统四个角度自由度采用角度编码器