β-Ga2O3薄膜的生长与应用

β-Ga2O3薄膜的生长与应用β-Ga2O3薄膜的生长与应用摘要：随着能源需求的不断增长和对绿色高效能源的追求，离子掺杂的半导体材料引起了广泛的关注。β-Ga2O3薄膜作为一种具有优异电学和光学性能的