非极性和半极性AlN薄膜的溅射生长与退火研究的任务书

非极性和半极性AlN薄膜的溅射生长与退火研究的任务书任务书任务名称：非极性和半极性AlN薄膜的溅射生长与退火研究任务背景：氮化铝（AlN）是一种重要的广谱半导体材料，具有优异的光电性能和热稳定性，被广