微电子工艺课件11zhang

- 第十一章 淀积 - 学习目标：1、描述多层金属化，叙述并解释薄膜生长的三个阶段；2、不同薄膜不同淀积技术； 3、化学汽相淀积（CVD）反应的8个基本步骤，包括不