电子行业-材料课件第一章微电子技术中图形加工的方法 精品

- 第一章 微电子技术中图形加工的一般方法 - 在半导体发展的早期，首先使用的半导体材料是锗，但它很快被硅取代了。因为硅在大气中氧化可以形成一层结力很强的透明的氧化硅(SiO2