微机电系统概论ppt课件

- 参考书 - 莫锦秋 梁庆华等，《微机电系统设计与制造》，化学工业出版社，2004.3刘广玉 樊尚春等，《微机械电子系统及其应用》，北京航空航天大学出版社，20