EUV诱发等离子体的演变机理及控制方法研究

EUV诱发等离子体的演变机理及控制方法研究EUV诱发等离子体的演变机理及控制方法研究摘要：极紫外（EUV）光是当前半导体制造领域中最主要的光源之一。然而，EUV辐照导致的等离子体形成对光刻过程的稳定性