第三代半导体材料SiC晶体生长设备技术及进展

第三代半导体材料Sic晶体生长设备技术及进展郑泰山;阮毅;王寅飞 【摘 要】第三代半导体设备技术是第三代半导体技术发展的重要支撑和基础。简 要介绍了以Sic为代表的第三代半导体材料，重点介绍了 Sic