氮化硅涂层的喷涂温度对多晶硅铸锭质量的影响

氮化硅涂层的喷涂温度对多晶硅铸锭质量的影响摘 要制备太阳能级多晶硅过程中需要使用坩埚。工业中通常使用的坩埚是石英或石墨坩埚，熔融硅与坩埚接触时不可避免的产生反应粘连，同时坩埚中的杂质也会进入硅熔体中。