基于动态干涉仪的位相光栅衍射效率研究

基于动态干涉仪的位相光栅衍射效率研究    (福州石径信息技术有限公司 福建 福州 350000)一、引言光栅是现代光学中的重要光学元件，按照光栅刻蚀微结构可分为矩形光栅、正弦光栅及其他不规则形状光栅