TiCn型4h-SiC氮氢等离子体处理与欧姆接触关系的研究的任务书

TiCn型4h-SiC氮氢等离子体处理与欧姆接触关系的研究的任务书题目：TiCn型4h-SiC氮氢等离子体处理与欧姆接触关系的研究任务背景：四氢基硅碳（4H-SiC）是目前最有前途的半导体材料之一，具