轨迹可控式磁致伸缩精密微位移致动器研究的任务书

轨迹可控式磁致伸缩精密微位移致动器研究的任务书任务书一、研究背景磁致伸缩致动器是一种重要的微位移驱动器，其被广泛应用于纳米加工、微机电系统、汽车电子以及大规模集成电路等领域。然而，当前的磁致伸缩致动器