第10章-化学气相沉积与电介质薄膜

半导体制造技术导论（第二版）第十章 化学气相沉积与电介质薄膜白雪飞中国科学技术大学电子科学与技术系提纲• 简介• 化学气相沉积• 电介质薄膜的应用• 电介质薄膜特性• 电介质化学气相沉积工艺• 旋涂硅