KrF化学增幅光刻胶在90nm逻辑工艺上的性能评价与优化的工艺条件的任务书

KrF化学增幅光刻胶在90nm逻辑工艺上的性能评价与优化的工艺条件的任务书任务书题目：KrF化学增幅光刻胶在90nm逻辑工艺上的性能评价与优化的工艺条件一、背景介绍光刻技术是集成电路制造过程中非常重要