纳米薄膜电阻式压力传感器研究及软件设计

摘要万一 Í 2 , 之 、 ， ，丁t́ } i l . } 2 ，本文从理论上探讨了纳米薄膜电阻式压力传感器的工作原理并设计了一种高精度压力传感器芯片，提出了适合高精度纳米薄膜电阻式压力传感器的表