第四章 真空蒸发镀膜法ppt课件

- 第一节 真空蒸发镀膜原理 - 一．定义：真空蒸发镀膜(蒸镀)是在真空条件下，加热蒸发物质使之气化并淀积在基片表面形成固体薄膜，是一种物理现象。 广泛地应用在机械、电真空