基于音叉效应的双质量块硅微陀螺仪结构优化设计的开题报告

基于音叉效应的双质量块硅微陀螺仪结构优化设计的开题报告一、课题背景陀螺仪是指利用旋转的刚体来检测空间的方向和转动状态的一种仪器。目前广泛应用于导航、惯性导航、姿态控制、惯性测量、机器人等领域。以MEM