探空仪MEMS湿度传感器的封装与测试的开题报告

探空仪MEMS湿度传感器的封装与测试的开题报告一、 研究背景随着气象事业的发展，声学探空仪已成为探测天气的重要设备，而其中的湿度传感器也显得越来越重要。MEMS微加工技术的发展为探空仪湿度传感器的制造