挺进次世代：ASML披露更多EUV光刻机研发新进展

在最近举办的SPIE高级光刻技术会议上，尽管EUV光刻工具的发展现状仍显得不够成熟，但目前唯一一家推出商用EUV光刻设备的厂商ASML还是给我们 带来了一些下一代EUV光刻机的新信息，而我们也趁此机会