《外延薄膜中的缺陷》PPT课件

- 单晶薄膜：薄膜中的全部原子或分子呈规则排列。多晶薄膜：薄膜由大量微小晶体(晶粒)组成。外延薄膜：在单晶基片上，生长出的单晶薄膜与基片保持一定的晶体学取向关系。如SiC(111)//Si(111)；