纳米多孔氮化镓制备及氮化镓干法刻蚀损伤回复研究

纳米多孔氮化镓制备及氮化镓干法刻蚀损伤回复研究摘要：本文介绍了纳米多孔氮化镓的制备及氮化镓干法刻蚀损伤回复的研究。通过氮化镓的制备和干法刻蚀技术的研究，可以获得高质量的氮化镓材料，并且可以回复表面上的