PCM在MEMS陀螺工艺中的应用

PCM在MEMS陀螺工艺中的应用应用PCM在MEMS陀螺工艺中摘要：MEMS（微电子机械系统）陀螺是一种非常重要的惯性传感器，广泛应用于导航、航空航天和惯性导航系统等领域。在过去的几年中，随着MEMS