最全的各种薄膜制备ppt课件

- 第十二章 薄膜制备技术 - 气相沉积技术就是通过气相材料或使材料气化后，沉积于固体材料或制品（基片）表面并形成薄膜，从而使基片获得特殊表面性能的一种新技术。