有限元分析薄膜基底在纳米压痕过程中的力学性能

有限元分析薄膜基底在纳米压痕过程中的力学性能摘要：本文采用有限元分析方法研究了薄膜基底在纳米压痕过程中的力学性能。首先，对薄膜基底的物理和力学特性进行了介绍；然后，建立了有限元模型，通过模拟不同载荷下