《冷阴极电离真空规》PPT课件

- 冷阴极电离真空计 - 冷阴极电离真空计是以冷阴极取代热阴极作为电离真空计的离子源，利用低压力下气体分子的电离与压力有关的特性，用放电电流做为真空度的测量，俗称