刻蚀(etch)工艺的基础知识

刻蚀(ETCH)工艺的基础知识 刻蚀（ETCH）工艺的基础知识 何谓蚀刻(Etch)? 答：将形成在晶圆表面上的薄膜全部，或特定处所去除至必要厚度的制程。 蚀刻种类: 答