《涡旋无油真空泵设计理论及加工工艺的研究 .》.pdf

东北大学硕士学位论文涡旋无油真空泵设计理论及加工工艺的研究姓名：孟冬辉申请学位级别：硕士专业：流体机械及工程指导教师：巴德纯20040201摘要 涡旋无油真空泵设计理论及加工工艺的研究 摘要 半导体工