Nb掺杂TiO2薄膜的电子束沉积制备及其导电机制研究的任务书

Nb掺杂TiO2薄膜的电子束沉积制备及其导电机制研究的任务书任务书一、任务背景随着微电子技术的不断发展和应用领域的扩大，金属氧化物半导体材料的研究和应用越来越受到重视。其中，尤以氧化钛（TiO2）材料