沉积及退火条件对硅铪氧化物薄膜结构和介电特性的影响

沉积及退火条件对硅铪氧化物薄膜结构和介电特性的影响硅铪氧化物薄膜具有良好的介电特性和机械强度，已广泛应用于微电子器件和光学器件等领域。在制备过程中，沉积及退火条件对薄膜结构和介电特性有着重要的影响。本